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发布日期:2021年08月01日
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SSIII系列直流脉冲磁控溅射电源

SSIII系列直流脉冲磁控溅射电源

规格参数

SSIII系列直流脉冲磁控溅射电源技术规格

SS III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,适用反应溅射膜层。

电源功率范围

6-120kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

脉冲

脉冲宽度

10-90%

输出电压

空载1000V[峰值电压]

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤3μs

输出稳定率

0.5%

冷却方式

6-12kW风冷 20-120kW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 爱情电影网天海翼aqdy 散文随笔 E道阅读网 爱情电影网天海翼aqdy 散文随笔 E道阅读网 ,朋友妈妈2018 电影全文免费阅读 朋友妈妈2018 电影 E道阅 朋友妈妈2018 电影全文免费阅读 朋友妈妈2018 电影 E道阅 ,善良的美人妻全文免费阅读 善良的美人妻 E道阅读网 善良的美人妻全文免费阅读 善良的美人妻 E道阅读网

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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